Drehkolbenpumpe

Seit den Versuchen Otto von Guerickes, der eine Kolbenpumpe mit Dreiwegehahn benutzte, ist eine große Zahl von verschiedenartigen Vakuumpumpen konstruiert worden. Für die Erzeugung des Vor- oder Grobvakuums, das man benötigt um die Hochvakuumpumpen betreiben zu können, verwendet man meist eine in Öl gelagerte Drehschieberpumpe (engl. oil sealed pump). Diese besteht aus einem metallischen Hohlzylinder in dem sich ein exzentrisch gelagerter Vollzylinder dreht. Zwei Schieber, die durch eine Feder auseinandergedrückt werden, gleiten entlang der Wand. Dabei schieben sie die am Saugstutzen eintretende Luft vor sich her und geben sie schließlich über das ölüberlagerte Ventil nach außen ab. Das erreichbare Endvakuum beträgt etwa 1 mbar. Normalerweise schaltet man zwei oder drei dieser Pumpen nacheinander (integriert in ein gemeinsames Gehäuse als mehrstufige Pumpe), um ein Endvakuum von 10^-2 bis 10^-4 mbar zu erreichen.