Ionisationsmanometer

Das eBook Angewandte Mikroelektronik wurde von Hans Lohninger zur Unterstützung verschiedener Lehrveranstaltungen geschrieben. Weitere Informationen finden sie hier.

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Siehe auch: Pirani Gauge, Piezoelektrische Sensoren

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Ionisationsmanometer Um den Gasdruck bei sehr niedrigen Drücken zu messen (10^-11 bis 10^-5 bar) verwendet man folgendes Prinzip: Heizt man einen Draht auf, so entstehen freie Elektronen, die man auf ein Gitter zu beschleunigt. Der größte Teil der Elektronen passiert das Gitter und trifft auf Gasmoleküle, die durch den Zusammenstoß ionisiert werden. Die entstandenen positiven Ionen werden von einer negativ geladenen Elektrode aufgefangen und der resultierende Strom wird gemessen. Dieser Strom ist proportional zum Gasdruck, da bei höheren Drücken natürlich auch mehr Gasmoleküle pro Volumeneinheit vorhanden sind und dadurch mehr Ionen erzeugt werden.
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Last Update: 2008-05-31