Das eBook Angewandte Mikroelektronik wurde von Hans Lohninger zur Unterstützung verschiedener Lehrveranstaltungen geschrieben. Weitere Informationen finden sie hier.

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Siehe auch: Ionisationsmanometer, Piezoelektrische Sensoren 
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Pirani Gauge

Bei niedrigen Drücken (10-7 bis 10-2 bar) ist die thermische Leitfähigkeit eines Gases proportional zum Druck. Nützt man diese Tatsache aus, so kann man durch Messung der Wärmeleitfähigkeit den Gasdruck messen. Lässt man durch einen Draht, der vom interessierenden Gas umspült ist, einen konstanten Strom fließen, so ist der Widerstand des Drahtes proportional zum Gasdruck.

Ein Nachteil dieses Sensors ist, dass seine Kennlinie von der Art des Gases abhängt, da unterschiedliche Gase unterschiedliche Wärmeleitfähigkeiten aufweisen. Die Genauigkeit einer Pirani-Messbrücke liegt bei etwa 3%.

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Last Update: 2008-05-31