Metalloxid-Gassensoren
Metalloxid-Gassensoren basieren auf dem Prinzip, dass
sich die Leitfähigkeit von bestimmten halbleitenden Metalloxiden ändert, wenn
sie einer Sauerstoff-Atmosphäre ausgesetzt werden. Obwohl dieser Typ von
Gassensor primär ein Sauerstoffsensor ist, kann man ihn auch zur Detektion von
anderen Gasen benützen. Um die Selektivität zu erhöhen werden die Oxide mit
verschiedenen Substanzen dotiert. Ein solcher Gassensor besteht aus einem
beheizten keramischen Material, auf dem das Metalloxid zwischen zwei Elektroden
aufgebracht ist. Falls das Oxid in Kontakt mit einem Gas kommt, diffundiert
dieses in die Schicht und ändert die Leitfähigkeit. Sowohl Selektivität als auch
Empfindlichkeit hängen von der Temperatur des Substrates und der Art der
Dotierung ab. Die Sensoren werden typisch auf Temperaturen von 200 bis 400 °C
gebracht. Die folgende Tabelle gibt einen kurzen Überblick über
Gassensoren.
| Gas |
Sensormaterial |
| Sauerstoff |
SnO2 , undotiert
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| Wasserstoff |
SnO2 + Sb-dotiert
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| Methan |
SnO2, Pt-dotiert
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| Propan |
SnO2 + PdCl2 + Mg(NO3)2 |
| Butan |
ZnO + Katalysator (Pt) |
| Kohlenmonoxid |
SnO2, Cu-dotiert
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Sensoren 
